在半導(dǎo)體晶圓研磨制程中，研磨液（漿料）的穩(wěn)定輸送直接影響晶圓的平坦度與表面質(zhì)量。更關(guān)鍵的是，晶圓研磨液通常含有異丙醇、丙二醇等易燃溶劑，一旦泄漏，不僅導(dǎo)致昂貴漿料浪費(fèi)、晶圓批次報(bào)廢，更可能引發(fā)火災(zāi)事故。保定思諾流體科技有限公司將防爆設(shè)計(jì)與漏液報(bào)警技術(shù)深度融合，為半導(dǎo)體晶圓研磨提供“防爆+防漏”的安全輸送方案。
一、半導(dǎo)體研磨的特殊挑戰(zhàn)
晶圓研磨對流體輸送提出極高要求：
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易燃介質(zhì)：研磨液中的異丙醇等成分揮發(fā)后遇火源可能爆燃
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高價(jià)值漿料：單批次研磨液成本數(shù)千至上萬元，泄漏直接造成經(jīng)濟(jì)損失
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良率敏感：研磨液泄漏可能導(dǎo)致晶圓表面污染，整批次良率下降
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連續(xù)作業(yè)：晶圓研磨需24小時(shí)不間斷運(yùn)行，對設(shè)備可靠性要求苛刻
二、防爆設(shè)計(jì)：潔凈室的安全準(zhǔn)入證
思諾防爆蠕動泵嚴(yán)格遵循GB/T 3836標(biāo)準(zhǔn)，防爆等級Ex d IIB T4 Gb，防護(hù)等級IP66，適用于存在易燃?xì)怏w環(huán)境的半導(dǎo)體產(chǎn)線。泵體采用鑄鋁殼體，整機(jī)無死角設(shè)計(jì)，易于清潔，滿足潔凈室使用規(guī)范。
三、漏液報(bào)警：微滲即知，止損于萌芽
思諾防爆蠕動泵集成高靈敏度漏液傳感器，采用電容感應(yīng)技術(shù)，可感知低至0.1ml的微量泄漏，響應(yīng)時(shí)間≤0.1秒。一旦檢測到研磨液滲漏，系統(tǒng)立即發(fā)出聲音報(bào)警并自動停機(jī)。
配合軟管計(jì)時(shí)功能，用戶可自定義軟管使用時(shí)長（如200-300小時(shí)），到期自動提醒更換，從源頭杜絕軟管破裂風(fēng)險(xiǎn)。
四、應(yīng)用價(jià)值
| 痛點(diǎn) | 思諾解決方案 | 價(jià)值 |
|---|---|---|
| 易燃研磨液泄漏可能引發(fā)火災(zāi) | 防爆設(shè)計(jì)+漏液報(bào)警 | 消除安全隱患 |
| 微量滲漏肉眼難察 | 漏液傳感器0.1ml感知 | 避免晶圓污染 |
| 軟管突發(fā)破裂 | 軟管計(jì)時(shí)主動提醒 | 從源頭杜絕風(fēng)險(xiǎn) |
| 潔凈室清潔要求 | 無死角設(shè)計(jì)+易清潔 | 滿足半導(dǎo)體規(guī)范 |
五、技術(shù)底氣
作為國內(nèi)率先布局雙傳感器系列化蠕動泵的企業(yè)，思諾流體已獲得專利授權(quán)42項(xiàng)及軟件著作權(quán)13項(xiàng)，產(chǎn)品通過CE、RoHS、ISO9001認(rèn)證。
思諾流體·一馬當(dāng)先·率先布局
★雙傳感器防護(hù)蠕動泵的先行者！
★雙傳感器防護(hù)蠕動泵系列化的開拓者！
選擇思諾防爆漏液報(bào)警蠕動泵，為您的晶圓研磨制程守住安全與良率的雙重底線。
冀公網(wǎng)安備 13060202001139號